GB/T 8760-2020 砷化镓单晶位错密度的测试方法

标准详情：

GB/T 8760-2020

国家标准推荐性

中文名称：砷化镓单晶位错密度的测试方法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040
发布日期：2020-09-29
实施日期：2021-08-01
代替标准：代替GB/T 8760-2006
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《砷化镓单晶位错密度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了砷化镓单晶位错密度的测试方法。本标准适用于｛100｝、{111｝面砷化镓单晶位错密度的测试，测试范围为0cm-2~100000cm-2。

起草单位

有研光电新材料有限责任公司、国合通用测试评价认证股份公司、广东先导稀材股份有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、中国电子科技集团第四十六研究所、雅波拓（福建）新材料有限公司、

起草人

赵敬平、林泉、刘淑凤、姚康、马英俊、王彤涵、陈晶晶、付萍、于洪国、惠峰、许所成、许兴、赵素晓、韦圣林、

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