GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法

标准详情：

GB/T 5252-2020

国家标准推荐性

中文名称：锗单晶位错密度的测试方法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040
发布日期：2020-06-02
实施日期：2021-04-01
代替标准：代替GB/T 5252-2006
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《锗单晶位错密度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。本标准适用于｛111}、｛100｝和｛013｝面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0cm-2~100000cm-2。

起草单位

有研光电新材料有限责任公司、国合通用测试评价认证股份公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中锗科技有限公司、北京国晶辉红外光学科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、义乌力迈新材料有限公司、

起草人

张路、冯德伸、姚康、刘新军、韦圣林、黄洪伟文、马会超、普世坤、郭荣贵、向清华、

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