GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法

标准详情:

GB/T 14140.2-1993

国家标准推荐性
  • 中文名称:硅片直径测量方法 千分尺法
  • CCS分类:H21
    ICS分类:77.040.01
  • 发布日期:1993-02-06
    实施日期:1993-10-01
  • 代替标准:被GB/T 14140-2009全部代替
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《硅片直径测量方法 千分尺法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

洛阳单晶硅厂、

起草人

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