GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
标准详情:
GB/T 14140.2-1993
国家标准推荐性废止
- 中文名称:硅片直径测量方法 千分尺法
- CCS分类:H21
- ICS分类:77.040.01
- 发布日期:1993-02-06
- 实施日期:1993-10-01
- 代替标准:被GB/T 14140-2009全部代替
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:冶金金属材料试验金属材料试验综合
内容简介
国家标准《硅片直径测量方法 千分尺法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
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