GB/T 14602-1993 电子工业用气体氯化氢

标准详情：

GB/T 14602-1993

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体氯化氢
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：1993-08-26
实施日期：1994-07-01
代替标准：被GB/T 14602-2014全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体氯化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。分子式：HC1 相对分子质量：36.461（按1989年国际相对原子质量）

起草单位

化工部西南化工研究院、

起草人

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