GB/T 3163-1993 真空技术术语

内容简介

国家标准《真空技术术语》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。

起草单位

沈阳真空技术研究所、

起草人

相近标准

20141083-T-469 微电子学微光刻技术术语
20214215-T-604 真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度
20220131-T-469 核科学技术术语 第2部分：裂变反应堆
GB/T 17004-1997 防伪技术术语
GB/T 15769-1995 电影技术术语
GB/T 8264-2008 涂装技术术语
SL 56-2005 农村水利技术术语
SL 56-2013 农村水利技术术语
GB/T 42604-2023 真空技术 真空计 热阴极电离真空计规范
JB/T 7250-1994 干燥技术术语