GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

标准详情:

GB/T 15615-1995

国家标准推荐性
  • 中文名称:硅片抗弯强度测试方法
  • CCS分类:H23
    ICS分类:77.040.01
  • 发布日期:1995-07-12
    实施日期:1996-02-01
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《硅片抗弯强度测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

中南工业大学、

起草人

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