GB/T 15909-1995 电子工业用气体硅烷(SiH4)

标准详情：

GB/T 15909-1995

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体硅烷(SiH4)
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：1995-12-20
实施日期：1996-08-01
代替标准：被GB/T 15909-2009全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

化工部西南化工研究院、

起草人

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