GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

标准详情：

GB/T 15861-1995

国家标准推荐性

中文名称：离子束蚀刻机通用技术条件
CCS分类：L97
ICS分类：31.200
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
代替标准：被GB/T 15861-2012全部代替
技术归口：工业和信息化部（电子）
发布部门：工业和信息化部（电子）
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

起草单位

电子部长沙半导体工艺设备所、

起草人

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