GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法

标准详情：

GB/T 11446.9-1997

国家标准推荐性

中文名称：电子级水中微粒的仪器测试方法
CCS分类：L90
ICS分类：31-030
发布日期：1997-09-01
实施日期：1998-09-01
代替标准：被GB/T 11446.9-2013全部代替
技术归口：工业和信息化部（电子）
发布部门：工业和信息化部（电子）
标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定法。本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于0.5μm，微粒的浓度为（0～10 000）个/mL.

起草单位

中国科学院半导体研究所、

起草人

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