GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件

标准详情：

GB/T 11164-1999

国家标准推荐性

中文名称：真空镀膜设备通用技术条件
CCS分类：J78
ICS分类：23.160
发布日期：1999-04-08
实施日期：1999-09-01
代替标准：被GB/T 11164-2011全部代替
技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
发布部门：中国机械工业联合会
标准分类：流体系统和通用件真空技术

内容简介

国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10～10Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。

起草单位

上海曙光机械制造厂、

起草人

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