GB/T 17874-1999 电子工业用气体三氯化硼

标准详情：

GB/T 17874-1999

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体三氯化硼
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：1999-09-16
实施日期：2000-06-01
代替标准：被GB/T 17874-2010全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体三氯化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

起草单位

光明化工研究设计院、

起草人

相近标准

GB/T 17874-2021 电子特气三氯化硼
GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢
GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷
GB/T 33774-2017 电子工业用气体丙烯
GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨
GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩
GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧
GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦
GB/T 31987-2015 电子工业用气体锗烷
GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错