GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
标准详情：
GB/T 22572-2008
国家标准推荐性现行
- 中文名称：表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
- CCS分类：G04
- ICS分类：71.040.40
- 发布日期：2008-12-11
- 实施日期：2009-10-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术分析化学化学分析
内容简介
国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
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