GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫

标准详情：

GB/T 18867-2002

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体六氟化硫
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2002-10-15
实施日期：2003-04-01
代替标准：被GB/T 18867-2014全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。

起草单位

中核红华特种气体股份有限公司、

起草人

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