GB/T 22462-2008 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜元素深度分布的定量测定辉光放电原子发射光谱法

标准详情：

GB/T 22462-2008

国家标准推荐性

中文名称：钢表面纳米、亚微米尺度薄膜元素深度分布的定量测定辉光放电原子发射光谱法
CCS分类：N33
ICS分类：17.180
发布日期：2008-10-30
实施日期：2009-06-01
代替标准：
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：计量学和测量、物理现象光学和光学测量

内容简介

国家标准《钢表面纳米、亚微米尺度薄膜元素深度分布的定量测定辉光放电原子发射光谱法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜(金属镀膜和氧化膜)中膜厚、镀层质量(单位面积)和薄膜中的元素深度分布。本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括:铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。

起草单位

宝山钢铁股份有限公司、中国科学院化学研究所、中国科学院物理研究所、冶金工业信息标准研究院、

起草人

张毅、陈英颖、何晓蕾、邬君飞、沈电洪、刘芬、栾燕、

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