GB/T 30701-2014 表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

标准详情：

GB/T 30701-2014

国家标准推荐性

中文名称：表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
CCS分类：G04
ICS分类：71.040.40
发布日期：2014-03-27
实施日期：2014-12-01
代替标准：
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅片工作标准样品表面元素铁和/或镍的化学收集方法（气相分解法或直接酸性液滴分解法）和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定。 ‖ 注：可采用石墨炉原子吸收光谱法或电感耦合等离子体质谱法代替全反射X射线荧光光谱法来测定所收集的元素。本标准适用于原子表面密度介于6×109 atoms/cm2～5×1011 atoms/cm2范围的铁和/或镍。

起草单位

中国计量科学研究院、

起草人

王海、宋小平、冯流星、王梅玲、高思田、

相近标准

GB/T 40110-2021 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
20211956-T-469 半导体晶片表面金属沾污的测定全反射X射线荧光光谱法
YS/T 703-2014 石灰石化学分析方法元素含量的测定 X射线荧光光谱法
YS/T 806-2020 铝及铝合金化学分析方法元素含量的测定 X射线荧光光谱法
GB/T 42360-2023 表面化学分析水的全反射X射线荧光光谱分析
20220732-T-610 镁及镁合金化学分析方法第23部分：元素含量的测定波长色散X射线荧光光谱法
20204819-T-609 玻璃纤维及原料化学元素的测定 X射线荧光光谱法
YS/T 575.23-2021 铝土矿石化学分析方法第23部分：元素含量的测定 X射线荧光光谱法
DB53/T 639.7-2014 直接还原铁化学分析方法第7部分：多元素的测定 X射线荧光光谱法
GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错