GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液
标准详情：
GB/T 30901-2014
国家标准推荐性现行
- 中文名称：高纯氟化铵溶液
- CCS分类：G12
- ICS分类：71.060.50
- 发布日期：2014-07-08
- 实施日期：2014-12-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国化学标准化技术委员会
- 发布部门：中国石油和化学工业联合会
- 标准分类：化工技术无机化学盐
内容简介
国家标准《高纯氟化铵溶液》由TC63（全国化学标准化技术委员会）归口，TC63SC1（全国化学标准化技术委员会无机化工分会）执行，主管部门为中国石油和化学工业联合会。
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
起草单位
浙江凯恒电子材料有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、中海油天津化工研究设计院等、福建省邵武市永飞化工有限公司、巨化集团技术中心、
起草人
田志扬、赵晓亚、张红英、周鹏鹏、万群平、林益兴、
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