GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

内容简介

国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。

起草单位

蛾眉半导体材料厂、

起草人

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