GB/T 9506.6-1988 掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
标准详情：
GB/T 9506.6-1988
国家标准推荐性废止
- 中文名称：掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
- CCS分类：L32
- ICS分类：31-030
- 发布日期：1988-06-25
- 实施日期：1988-12-01
- 代替标准：被GB/T 25495-2010全部代替
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电子学电子技术专用材料
内容简介
国家标准《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
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