GB/T 9506.5-1988 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法

标准详情:

GB/T 9506.5-1988

国家标准推荐性
  • 中文名称:掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法
  • CCS分类:L32
    ICS分类:31-030
  • 发布日期:1988-06-25
    实施日期:1988-12-01
  • 代替标准:被GB/T 25497-2010全部代替
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

上海电子管二厂、

起草人

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