GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

标准详情：

GB/T 42271-2022

国家标准推荐性

中文名称：半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：中国有色金属工业协会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了硬质合金原料所用难熔金属碳化物和硬质合金总碳量的测定方法。本文件适用于钨、钽、铌、铬、钒、钛等难熔金属的碳化物及复式碳化物，碳化物与黏结金属组成的混合料（无成型剂）以及由这些混合料生产的预烧结或烧结过的硬质合金中的总碳量的测定，测定范围（质量分数）为4.00%~20.00%。

起草单位

北京天科合达半导体股份有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院有限责任公司、

起草人

彭同华、佘宗静、李素青、王波、刘立娜、王大军、张贺、杨建、袁松、

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