GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

标准详情：

GB/T 16945-2009

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体氩
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：代替GB/T 16945-1997
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体氩》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 u3000u3000氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。

起草单位

北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院、

起草人

赵俊秀、周鹏云、

相近标准

HG/T 4985-2016 焊接用混合气体氦/氩
HG/T 4986-2016 焊接用混合气体氧/氩
GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢
GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷
GB/T 33774-2017 电子工业用气体丙烯
GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨
GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧
GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦
GB/T 31987-2015 电子工业用气体锗烷
GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错