GB/T 31986-2015 电子工业用气体八氟丙烷

标准详情：

GB/T 31986-2015

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体八氟丙烷
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2015-09-11
实施日期：2016-05-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体八氟丙烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式:C3F8。相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。

起草单位

国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、浙江省化工研究院有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、

起草人

林宇巍、陈熔、廖恒易、史婉君、方路、

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