GB/T 26249-2010 电子工业用气体硒化氢

标准详情：

GB/T 26249-2010

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体硒化氢
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体硒化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。分子式：H2Se。相对分子质量：8o．975 88(按2007年国际相对原子质量计算)。

起草单位

中国计量科学研究院、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院、河北保定市北方特种气体有限公司、

起草人

周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、

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