GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧

标准详情：

GB/T 14604-2009

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体氧
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：代替GB/T 14604-1993
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体氧》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。

起草单位

中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、

起草人

周泽义、周鹏云、

相近标准

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢
GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷
GB/T 33774-2017 电子工业用气体丙烯
GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨
GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩
GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦
GB/T 31987-2015 电子工业用气体锗烷
GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢
GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮
GB/T 34085-2017 电子工业用气体三氟甲烷

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错