GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

标准详情：

GB/T 14601-2009

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体氨
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：代替GB/T 14601-1993
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体氨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。

起草单位

大连光明化工研究院、武汉市鼎立化工有限责任公司、中国西南油气田成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、

起草人

孙福楠、刘泽军、周鹏云、付永成、谢国清、

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