GB/T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼

标准详情：

GB/T 14603-2009

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体三氟化硼
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：代替GB/T 14603-1993
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体三氟化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 u3000u3000本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

起草单位

核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院、

起草人

邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云、

相近标准

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢
GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷
GB/T 33774-2017 电子工业用气体丙烯
GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨
GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩
GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧
GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦
GB/T 31987-2015 电子工业用气体锗烷
GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢
GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错