GB/T 18994-2014 电子工业用气体高纯氯

标准详情：

GB/T 18994-2014

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体高纯氯
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
代替标准：代替GB/T 18994-2003
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。分子式：Cl2。相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。

起草单位

西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、太和气体（荆州）有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司、

起草人

周鹏云、常侠、刘新明、汪正宏、廖恒易、方华、

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