GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫

标准详情：

GB/T 18867-2014

国家标准推荐性

中文名称：电子工业用气体六氟化硫
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
代替标准：代替GB/T 18867-2002
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。

起草单位

黎明化工研究设计院有限责任公司、青海信禾高精化工有限公司、四川众力氟业有限责任公司、大连大特气体有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司、

起草人

黄晓磊、牛学坤、刘长庆、任清贵、赖明贵、傅涛、

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