GB/T 26112-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
标准详情：
GB/T 26112-2010
国家标准推荐性现行
- 中文名称：微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
- CCS分类：L55
- ICS分类：31.200
- 发布日期：2011-01-10
- 实施日期：2011-10-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电子学集成电路、微电子学
内容简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、枪测机构从事微机电挂术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
起草单位
天津大学、西安交通大学、太原理工大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、中原工学院、
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