GB/T 25495-2010 吸气剂金属释放特性测试方法

标准详情：

GB/T 25495-2010

国家标准推荐性

中文名称：吸气剂金属释放特性测试方法
CCS分类：L90
ICS分类：31.030
发布日期：2010-12-01
实施日期：2011-05-01
代替标准：代替GB/T 9506.6-1988,GB/T 6626.1-1986,GB/T 9506.2-1988
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《吸气剂金属释放特性测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法，如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。本标准适用于真空器什用吸气剂。

起草单位

南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子科技集团公司第十二研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究所、

起草人

薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠、

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