GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

标准详情：

GB/T 15861-2012

国家标准推荐性

中文名称：离子束蚀刻机通用规范
CCS分类：L97
ICS分类：
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
代替标准：代替GB/T 15861-1995
技术归口：工业和信息化部（电子）
发布部门：工业和信息化部（电子）
标准分类：

内容简介

国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所、

起草人

陈特超、周大良、

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