GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语
标准详情：
GB/T 26111-2010
国家标准推荐性现行
- 中文名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
- CCS分类：L55
- ICS分类：31.200
- 发布日期：2011-01-10
- 实施日期：2011-10-01
- 代替标准：被GB/T 26111-2023全部代替
- 技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电子学集成电路、微电子学
内容简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发，评测和应用。
起草单位
中机生产力促进中心、清华大学、中北大学等、中国电子科技集团第13研究所、上海交通大学、
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