GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

标准详情：

GB/T 32816-2016

国家标准推荐性

中文名称：硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
CCS分类：L55
ICS分类：31.200
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
代替标准：
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。

起草单位

北京大学、大连理工大学、中机生产力促进中心、北京青鸟元芯微系统科技有限公司、

起草人

张大成、杨芳、何军、黄贤、邹赫麟、田大宇、李海斌、王玮、刘冲、刘伟、姜博岩、

相近标准

GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范
GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范
GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范
GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范
GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术版图设计基本规则
20204974-T-469 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
20204972-T-469 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
20204973-T-469 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法
GB/T 32236-2015 以BOM结构为核心的产品生命中期数据集成管理框架

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错