GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

标准详情：

GB/T 32814-2016

国家标准推荐性

中文名称：硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范
CCS分类：L55
ICS分类：31.200
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
代替标准：
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

起草单位

西北工业大学、中机生产力促进中心、

起草人

苑伟政、谢建兵、马志波、常洪龙、李海斌、乔大勇、刘伟、

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