SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语

标准详情：

SJ/T 10152-1991

行业标准-SJ 电子推荐性

中文名称：集成电路主要工艺设备术语
CCS分类：
ICS分类：
发布日期：1991-04-02
实施日期：1991-07-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：
发布部门：电子工业部
标准分类：SJ 电子

内容简介

行业标准《集成电路主要工艺设备术语》，主管部门为电子工业部。
本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。

起草单位

起草人

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