JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件
标准详情:
JB/T 4082-1991
行业标准-JB 机械推荐性有更新版
- 中文名称:溅射离子泵技术条件
- CCS分类:
- ICS分类:
- 发布日期:1991-07-22
- 实施日期:1992-07-01
- 代替标准:
- 行业分类:
- 技术归口:
- 发布部门:机械电子工业部
- 标准分类:JB 机械
内容简介
行业标准《溅射离子泵技术条件》,主管部门为机械电子工业部。
u3000u3000本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。u3000u3000本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵。
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