JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗分等

标准详情：

JB/T 5631-1991

行业标准-JB 机械推荐性

中文名称：半导体器件外延炉能耗分等
CCS分类：
ICS分类：
发布日期：1991-08-27
实施日期：1992-07-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：
发布部门：机械电子工业部
标准分类：JB 机械

内容简介

行业标准《半导体器件外延炉能耗分等》，主管部门为机械电子工业部。
本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。

起草单位

起草人

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