SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法
标准详情:
SJ/T 10274-1991
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称:掩模对准曝光机测试方法
- CCS分类:
- ICS分类:
- 发布日期:1991-11-12
- 实施日期:1992-01-01
- 代替标准:
- 行业分类:
- 技术归口:
- 发布部门:电子工业部
- 标准分类:SJ 电子
内容简介
行业标准《掩模对准曝光机测试方法》,主管部门为电子工业部。
本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。
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