YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
标准详情：
YS/T 23-1992
行业标准-YS 有色金属推荐性有更新版
- 中文名称：硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：1992-03-09
- 实施日期：1993-01-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：中国有色金属工业总公司
- 标准分类：YS 有色金属
内容简介
行业标准《硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。
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