SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件
标准详情：
SJ/T 10311-1992
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：低压化学气相淀积设备通用技术条件
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：1992-06-15
- 实施日期：1992-12-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：电子工业部
- 标准分类：SJ 电子
内容简介
行业标准《低压化学气相淀积设备通用技术条件》，主管部门为电子工业部。
本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。
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