JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

标准详情：

JB/T 2965-1992

行业标准-JB 机械推荐性

中文名称：溅射离子泵性能测试方法
CCS分类：
ICS分类：
发布日期：1992-12-24
实施日期：1993-07-01
代替标准：代替JB 2965-1981
行业分类：
技术归口：
发布部门：机械工业部
标准分类：JB 机械

内容简介

行业标准《溅射离子泵性能测试方法》，主管部门为机械工业部。
本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。
本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。

起草单位

起草人

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