SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件
标准详情：
SJ/T 10478-1994
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：磁控溅射设备通用技术条件
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：1994-04-11
- 实施日期：1994-10-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：电子工业部
- 标准分类：SJ 电子
内容简介
行业标准《磁控溅射设备通用技术条件》，主管部门为电子工业部。
本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。
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