SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语
标准详情：
SJ/T 10584-1994
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：微电子学光掩蔽技术术语
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：1994-08-08
- 实施日期：1994-12-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：电子工业部
- 标准分类：SJ 电子
内容简介
行业标准《微电子学光掩蔽技术术语》，主管部门为电子工业部。
本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。
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