SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列
标准详情：
SJ/T 11131-1997
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：蒸发镀膜设备基本参数系列
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：1997-09-02
- 实施日期：1998-01-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：电子工业部
- 标准分类：SJ 电子
内容简介
行业标准《蒸发镀膜设备基本参数系列》，主管部门为电子工业部。
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
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