SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范
标准详情：
SJ/T 11184-1998
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：显影设备通用规范
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：1998-03-11
- 实施日期：1998-05-01
- 代替标准：代替SJ 8194－1988
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：电子工业部
- 标准分类：SJ 电子
内容简介
行业标准《显影设备通用规范》，主管部门为电子工业部。
本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等的显影设备。
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