SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范
标准详情：
SJ/T 11275-2002
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：卧式液相外延系统通用规范
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：2002-10-30
- 实施日期：2003-03-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：信息产业部
- 标准分类：SJ 电子
内容简介
行业标准《卧式液相外延系统通用规范》，主管部门为信息产业部。
本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包裝、运输、贮存。 本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备，亦可参照执行。
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