JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

标准详情：

JB/T 10439-2004

行业标准-JB 机械推荐性

中文名称：单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
CCS分类：K61
ICS分类：25.180.10
发布日期：2004-03-12
实施日期：2004-08-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国工业电热设备标准化技术委员会
发布部门：国家发展和改革委员会
标准分类：机械制造工业炉电炉 JB 机械

内容简介

行业标准《单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉》由全国工业电热设备标准化技术委员会归口上报，主管部门为国家发展和改革委员会。
本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。u3000u3000本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

起草单位

西安理工大学晶体生长设备研究所

起草人

陈巨才

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