YS/T 719-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶

标准详情:

YS/T 719-2009

行业标准-YS 有色金属推荐性
  • 中文名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶
  • CCS分类:H63
    ICS分类:77.150.99
  • 发布日期:2009-12-04
    实施日期:2010-06-01
  • 代替标准:
    行业分类:
  • 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
    发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金有色金属产品其他有色金属产品YS 有色金属

内容简介

行业标准《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材。

起草单位

利达光电股份有限公司

起草人

李智超、杨太礼 等

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