YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材光学薄膜用铌靶

标准详情：

YS/T 718-2009

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：平面磁控溅射靶材光学薄膜用铌靶
CCS分类：H63
ICS分类：77.150.99
发布日期：2009-12-04
实施日期：2010-06-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品 YS 有色金属

内容简介

行业标准《平面磁控溅射靶材光学薄膜用铌靶》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材。

起草单位

利达光电股份有限公司

起草人

李智超、杨太礼

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