JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备
标准详情：
JB/T 8945-2010
行业标准-JB 机械推荐性现行
- 中文名称：真空溅射镀膜设备
- CCS分类：J78
- ICS分类：
- 发布日期：2010-02-21
- 实施日期：2010-07-01
- 代替标准：代替JB/T 8945-1999
- 行业分类：
- 技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：JB 机械
内容简介
行业标准《真空溅射镀膜设备》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
起草单位
广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司等
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